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压阻式压力传感器的压力丈量试验

压阻式压力传感器的压力丈量试验

时间:2015-12-22 11:35 来源: 作者:广州南创 点击:
压阻式压力传感器的压力丈量试验 
一⊙ω⊙、 试验意图:了解松懈硅压阻式压力传感器丈量压力的原理和办法?!-!﹏▊。 
二⊙ω⊙、 基本原理:松懈硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上松懈出P型
或N型电阻条o⊙⊙ω⊙ ▼,接成电桥?!-!﹏▊。在压力效果下o⊙⊙ω⊙ ▼,依据半导体的压阻效应o⊙⊙ω⊙ ▼,基片发生应力o⊙⊙ω⊙ ▼,电阻条的电阻率发生很大改动o⊙⊙ω⊙ ▼,致使电阻的改动o⊙⊙ω⊙ ▼,咱们把这一改动引进丈量电路o⊙⊙ω⊙ ▼,则其输出电压的改动反映了所遭到的压力改动?!-!﹏▊。 
三⊙ω⊙、 试验设备:压力源⊙ω⊙、压力表⊙ω⊙、压阻式压力传感器⊙ω⊙、压力传感器试验
模板⊙ω⊙、流量计⊙ω⊙、三通联接导管⊙ω⊙、数显单元⊙ω⊙、直流稳压源±4V⊙ω⊙、±15V?!-!﹏▊。 
四⊙ω⊙、 试验办法和央求: 
1⊙ω⊙、依据电子电路常识完毕电路联接o⊙⊙ω⊙ ▼,主控箱内的气源有些⊙ω⊙、紧缩泵⊙ω⊙、储气箱⊙ω⊙、流量计在主控箱内部已接好?!-!﹏▊。将最为标准出的压力表需要放置传感器支架上面o⊙⊙ω⊙ ▼,再三通联出接纳中硬管一端的刺进在主控板上的气源快速插座中(留心管子拉出时再请用双指按住气源插座边际往内压o⊙⊙ω⊙ ▼,则硬管可轻松拉出)?!-!﹏▊。其他两根软导管分别与规范表和压力传感器接通?!-!﹏▊。将传感器引线插头刺进试验模板的插座中?!-!﹏▊。 
2⊙ω⊙、需要先松开实验流量计下端的进气口调气阀的旋钮o⊙⊙ω⊙ ▼,去注册流量计?!-!﹏▊。 3⊙ω⊙、再合上主控箱上的气源开关o⊙⊙ω⊙ ▼,建议紧缩泵o⊙⊙ω⊙ ▼,此时可看到流量计中的滚珠浮子在向上浮起悬于玻璃管中?!-!﹏▊。 
4⊙ω⊙、逐渐关小流量计旋钮o⊙⊙ω⊙ ▼,使规范压力表指示某一刻度o⊙⊙ω⊙ ▼,查询数显表闪现电压的正⊙ω⊙、负o⊙⊙ω⊙ ▼,若为负值则对调传感器气咀接法?!-!﹏▊。 
5⊙ω⊙、细心地逐渐由小到大调度流量计旋钮o⊙⊙ω⊙ ▼,使压力闪现在4—14KP之间o⊙⊙ω⊙ ▼,每上升1KP分别读取压力表读数o⊙⊙ω⊙ ▼,记下相应的数显表值?!-!﹏▊。 6⊙ω⊙、核算本系统的灵敏度和非线性过失?!-!﹏▊。
五⊙ω⊙、 思考题: 
假定本试验设备要成为一个压力计o⊙⊙ω⊙ ▼,则有必要对其进行标定o⊙⊙ω⊙ ▼,怎么标定?

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